規格 | ||
掃描階段 | 掃瞄階段 | 110 mm x 110 mm x 110 mm |
最小步長 | 20 nm | |
定位 | Closed loop positioning, linear, zero hysteresis encoder with direct real-time readout of displacement in x, y, z | |
線性位置解析度 | 20 nm | |
最大掃描速度 | 10 mm/s | |
測量解析度 | 32-bit decoder @ up to 40 MHz | |
尺吋 | 500 mm (H) x 400 mm (W) x 675 mm (D) | |
壓電元件(用於 ic-SECM 控制) | 壓電晶體擴展 | 100 µm |
振動頻率 | 80 – 600 Hz | |
振動控制 | 20 nm – 2 µm Peak to Peak | |
最小位移 | 1 nm | |
Z軸控制解析度 | 0.09 nm Calculated (20-bit DAC on 100 µm) | |
地形解析度(紀錄) | 20 nm | |
最小振動解析度 | 0.12 nm Calculated (16- bit DAC on 4 µm) | |
Potentiostat | 最大電壓 | ±12 V |
控制電壓 | ±10 V | |
解析度 | 300 µv | |
測量電壓 | ±10 V | |
解析度 | 1.65 µV | |
電流範圍 | 100 pA to 1A | |
最大電流 | ± 500 mA | |
電流解析度 | 76 aA | |
浮動能力 | Floating Mode | |
電極連接 | 2, 3, or 4 electrode | |
掃描速率 | 1 µV/s to 200 V/s | |
模式 | Potentiostat, Galvanostat, OCP | |
頻率範圍 | 10 µHz to 3 MHz | |
頻率精度 | 1%, 1° | |
頻率解析度 | 0.1 nHz | |
General | 可用的探頭 | 10, 15, and 25 µm Platinum |
可用的實驗 | ic-SECM Approach, ic-SECM Area Scan, ic-ac-SECM Area Scan |