規格

掃描階段

掃瞄階段

110 mm x 110 mm x 110 mm

最小步長

20 nm

定位

Closed loop positioning, linear, zero hysteresis encoder with direct real-time readout of displacement in x, y, z

線性位置解析度

20 nm

最大掃描速度

10 mm/s

測量解析度

32-bit decoder @ up to 40 MHz

尺吋

500 mm (H) x 400 mm (W) x 675 mm (D)

壓電元件（用於 ic-SECM 控制）

壓電晶體擴展

100 µm

振動頻率

80 – 600 Hz

振動控制

20 nm – 2 µm Peak to Peak

最小位移

1 nm

Z軸控制解析度

0.09 nm Calculated (20-bit DAC on 100 µm)

地形解析度(紀錄)

20 nm

最小振動解析度

0.12 nm Calculated (16- bit DAC on 4 µm)

Potentiostat
[SP-300]

最大電壓

±12 V

控制電壓

±10 V

解析度

300 µv

測量電壓

±10 V

解析度

1.65 µV

電流範圍

100 pA to 1A

最大電流

± 500 mA

電流解析度

76 aA

浮動能力

Floating Mode

電極連接

2, 3, or 4 electrode

掃描速率

1 µV/s to 200 V/s

模式

Potentiostat, Galvanostat, OCP

頻率範圍

10 µHz to 3 MHz

頻率精度

1%, 1°

頻率解析度

0.1 nHz

General

可用的探頭

10, 15, and 25 µm Platinum

可用的實驗

ic-SECM Approach, ic-SECM Area Scan, ic-ac-SECM Area Scan