OSP – M470 - 北極光科技

規格
掃描階段	掃瞄階段	110 mm x 110 mm x 110 mm
	最小步長	20 nm
	定位	Closed loop positioning, linear, zero hysteresis encoder with direct real-time readout of displacement in x, y, z
	線性位置解析度	20 nm
	最大掃描速度	10 mm/s
	測量解析度	32-bit decoder @ up to 40 MHz
	尺吋	500 mm (H) x 400 mm (W) x 675 mm (D)
感應器	測量範圍	10 mm
	參考距離	30 mm
	最大垂直分辨率（靜態）	100 nm
	光斑尺寸	30 µm at focus
	最大掃描速度	10 mm/s
	平均多個讀數	Yes
	正確定位	Red Light/ Green Light
	光源	650 nm class 2 semiconductor laser max. 0.95 mW
General	可用的實驗	Line Scan, Area Scan