SKP-M470
使用振動電容探頭量測檢測品間運作時的差異
- 高靈敏度
- 量測檢測品運作時的表面狀態變化
SKP470 介紹影片
規格
掃描階段
| 掃描範圍 (x,y,z) |
約 110 mm x 110 mm x 110 mm |
| 最小步長 (x,y,z) |
20 nm |
| 定位 |
閉環定位、線性、零延遲編碼器， |
| 線性位置解析度 |
20 nm |
| 最大掃描速度 |
10 mm/s |
| 量測解析度 |
40 MHz(32 bits 編碼器) |
| 設備尺寸 (H x W x D) |
約 500 mm x 400 mm x 675 mm |
SKP 電子探頭
| 訊號鏈 |
相位靈敏偵測： |
| 電化學靈敏度 |
優於 0.15 meV |
鎖定放大器
| 說明 |
LIA 掃描(包含在 M470 控制器) |
| 擴增幅度 |
可使用軟體控制 |
| 理論最大靈敏度 |
50 nA FSD |
| 固定輸出時間 |
0.01、0.1、1、10 (s) |
微分靜電針
| 輸入阻抗 |
1015 Ω |
| 擴增幅度 |
十進位 (1x ~ 10000x) |
| 一般模式量測範圍 |
±12 V |
| 固定輸出時間 |
0.01、0.1、1、10 (s) |
振動器
| 類型 |
一維低電壓壓電器 |
| 振幅 (± 10%) |
軟體可設置距離檢測品表面 0 ~ 30 μm |
背面電位控制器
| 電壓範圍 |
± 10 V |
| DAC 解析度 |
300 μV |
| 採樣速度 |
0.1 Hz ~ 1000 Hz |
| 類型 |
PID 控制器 |
整體
| 適用實驗 |
SKP Line Scan、SKP Area Scan、CHM Line Scan、CHM Area Scan、CTM Line Scan、CTM Area Scan |
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