規格
掃描階段
| 掃描範圍 (x,y,z) |
約 110 mm x 110 mm x 110 mm |
| 最小步長 (x,y,z) |
20 nm |
| 定位 |
閉環定位、線性、零延遲編碼器, |
| 線性位置解析度 |
20 nm |
| 最大掃描速度 |
10 mm/s |
| 量測解析度 |
40 MHz(32 bits 編碼器) |
| 設備尺寸 (H x W x D) |
約 500 mm x 400 mm x 675 mm |
SVP 電子探頭
| 訊號鏈 |
相位靈敏偵測: |
鎖定放大器
| 擴增幅度 |
可使用軟體控制 |
| 固定輸出時間 |
0.1、1、10 (s) |
微分靜電針
| 輸入阻抗 |
1015 Ω |
| 擴增幅度 |
十進位 (1x ~ 10000x) |
| 一般模式量測範圍 |
± 12 V |
振動器
| 類型 |
一維低電壓壓電器 |
| 振幅 (± 10%) |
軟體可設置垂直距離檢測品表面 1 ~ 30 μm |
背面電位控制器
| 電化學靈敏度 |
使用標準 PIS 測試法:優於 5 μA/cm2 |
整體
| 適用實驗 |
Line Scan、Area Scan |





