規格

掃描階段

掃瞄階段

110 mm x 110 mm x 110 mm

最小步長

20 nm

定位

Closed loop positioning, linear, zero hysteresis encoder with direct real-time readout of displacement in x, y, z

線性位置解析度

20 nm

最大掃描速度

10 mm/s

測量解析度

32-bit decoder @ up to 40 MHz

尺吋

500 mm (H) x 400 mm (W) x 675 mm (D)

SKP Electronics

信號鏈

Phase sensitive detection using microprocessor controlled lock-in amplifier with digital dual phase oscillator and differential electrometer input

電化學靈敏度

Better than 0.15 meV

鎖相放大器

Scanning specific LIA included within the M470 control unit

增益範圍

Software controllable

Gain: 1-10^5

最大理論靈敏度

50 nA FSD

輸出時間常數

0.01, 0.1, 1, 10 s

差分靜電計

輸入阻抗

10^15 Ω

增益範圍

Decade ranges 0 to 80 dB (1x to 10000x)

共模範圍

±12 V

振動執行器

類型

One dimensional low voltage piezo actuator

振度幅度

Software set 0-30 µm from the sample surface

支持電位控制器

電壓範圍

± 10 V

DAC解析度

300 µV

採樣

0.1 Hz to 1000 Hz

類型

PID Controller

可用的實驗

SKP Line Scan, SKP Area Scan, CHM Line Scan, CHM Area Scan, CTM Line Scan, CTM Area Scan