M470 – ic-SECM Technique
可量測表面活性圖 & 起伏圖
- BioLogic 獨有
- 定距離電化學掃描顯微鏡
規格
掃描階段
| 掃描範圍 (x,y,z) |
約 110 mm x 110 mm x 110 mm |
| 最小步長 (x,y,z) |
20 nm |
| 定位 |
閉環定位、線性、零延遲編碼器， |
| 線性位置解析度 |
20 nm |
| 最大掃描速度 |
10 mm/s |
| 量測解析度 |
40 MHz(32 bits 編碼器) |
| 設備尺寸 (H x W x D) |
約 500 mm x 400 mm x 675 mm |
用於控制 ic 的壓電組件
| 擴充壓電晶體 |
100 μm |
| 振動頻率 |
80 ~ 600 Hz |
| 振動控制 |
波峰–波峰:20 nm – 2 μm |
| 最小增量 |
1 nm |
| 壓電驅動解析度 |
約 0.095 nm |
| 應變計解析度 |
3.05 nm |
| 最小振動解析度 |
約 0.12 nm (4 μm : 16- bit DAC) |
套用恆電位儀(以 SP-300 為例)
| 合規電壓 |
± 12 V |
| 應用電位 |
± 10 V |
| 應用解析度 |
300 μV |
| 量測電位 |
± 10 V |
| 量測解析度 |
1.65 μV |
| 電流範圍 |
100 pA ~ 1A |
| 最大電流 |
± 500 mA |
| 電流解析度 |
76 aA/p> |
| 流動電容量 |
流動模式 |
| 連接電極數 |
2、3、4 |
| 掃描速度 |
1 μV/s ~ 200 V/s |
| 量測模式 |
恆電位儀、開路電位 |
恆電位儀配有 EIS 通道
| 頻率範圍 |
10 μHz ~ 1 MHz |
| 分析精度 |
1%, 1° |
| 頻率解析度 |
0.1 nHz |
整體
| 適用探頭 |
白金探頭: 10、15、25 μm |
| 適用實驗 |
ic-SECM Approach、ic-SECM Area Scan、ic-ac-SECM |
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