OSP – M470
- 模組化
- 光學表面解析器
規格
掃描階段
| 掃描範圍 (x,y,z) |
約 110 mm x 110 mm x 110 mm |
| 最小步長 (x,y,z) |
20 nm |
| 定位 |
閉環定位、線性、零延遲編碼器， |
| 線性位置解析度 |
20 nm |
| 最大掃描速度 |
10 mm/s |
| 量測解析度 |
40 MHz(32 bits 編碼器) |
| 設備尺寸 (H x W x D) |
約 500 mm x 400 mm x 675 mm |
感應器
| 量測範圍 |
10 mm |
| 參考距離 |
30 mm |
| 靜止狀態下,最大垂直解析 |
100 nm |
| 光點尺寸 |
對焦時:30 μm |
| 最大掃描速度 |
10 mm/s |
| 多數平均讀點 |
√ |
| 正確定位點 |
紅/綠光 |
| 光源 |
650 nm 的第二類半導體雷射最大值 : 0.95 mW |
整體
| 適用實驗 |
Line Scan、Area Scan |
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